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产品名称: PCE-8等离子清洗机

上架时间: 2021-09-01

产品编号: 11040204

浏览次数: 66

技术参数
设备视频
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PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 ?8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

1、采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。
2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

产品名称      
PCE-8等离子清洗机
产品型号      
PCE-8
主要参数      
1、电源:AC220V
2、射频功率:最大100W,可在0-100W间调节
3、真空泵功率:<500W
4、总功率:<600W
5、射频:13.56MHz
6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径?8.5",内径?8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法兰设有一个?60mm的观察窗口
7、极限真空度:50mtorr
8、通入气体:可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格      

尺寸:620mm×450mm×600mm

可选配件       1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)
2、2"-6"石英舟(盛放基片)
3、2-4通道浮子混气系统
4、2-4通道质子混气系统
5、直连式双旋真空泵(240L/min)
6、KF25波纹管
7、KF25手动挡板阀

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