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产品名称: PCE-6V小型等离子清洗机

上架时间: 2021-09-01

产品编号: 11040205

浏览次数: 56

技术参数
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PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现对样品的离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小,操作简单,应用广泛。

1、采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
2、可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
3、清洗程度可达到分子级。
4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
6、样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

产品名称      
PCE-6V小型等离子清洗机
产品型号      
PCE-6V
主要参数      
1、电压:AC220V  10A
2、消耗功率:<500W(包括真空泵)
3、RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz
4、腔体:?190mm×98mm
5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm
6、内腔:?165mm×55mm
7、清洗电极:?120mm 
8、样品台:?150mm,有效尺寸?140mm
9、样品台与电极间距:15mm-50mm可调
10、抽气管:?12mm
11、极限真空度:0.1Pa
12、工作真空度:60Pa-500Pa
13、气路数量:2路(选装)
14、流量控制器数量:1、2
15、流量显示仪:2通道
16、气路接口:?6mm
17、加热样品台:?100mm,加热样品温度200℃-500℃(选装)
18、冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa
19、工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m
产品规格      

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可选配件       1、加热样品台
2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道数≤2)

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