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产品名称: GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

上架时间: 2021-09-01

产品编号: 03050209

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技术参数
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GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可对程序进行设定,并精 确控制温度在200?C-1500?C(或者1200?C-~1700?C)的范围内进行变化,可蒸镀直径长达2"的薄膜样品,在对样品进行蒸发镀膜的过程中,样品台可进行旋转旋转,以获得更均匀的薄膜。GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪体积小巧,可有效节约实验室空间;操作简单,对不同材料的适应性强,因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。

1、已通过CE认证。
2、采用石英腔体,易于清洁和样品的放入。
3、样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性。
4、采用钨丝作为发热源,最高温度可达到1700℃,并配有专用的氧化铝舟装载样品(仅1600?C以下使用,若蒸发温度大于1600?C,样品应直接放在钨丝篮中)。   
5、热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制。
6、可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000?C,可达到对样品镀碳等实验要求。
7、可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。
8、进气口配有针阀,用于调节进气流量。

产品名称 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪
产品型号
GSL-1700X-SPC-2
主要参数
1、电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相
2、最大功率:500W,最大电流为30A
3、真空腔体:石英腔体,直径?6"
4、样品台:直径?50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm
5、最高温度:1700?C
6、热电偶:S型热偶,工作温度200?C-1500?C(可选用B型热偶,工作温度1200?C-1700?C)
7、控温精度:±1?C,数显温度控制器,可设置30段升降温程序
8、钨丝篮:2个
9、真空接口:KF40
10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr
11、进气接口:1/4NPS
产品规格

尺寸:440mm×330mm×630mm

可选配件 1、机械泵(带油污过滤器)(真空度<10-2torr,可以蒸发贵金属,如Au、Ag)
2、分子泵(可获得高真空,真空度<10-5torr,蒸发易氧化材料,如Al、Mg、Li等)
3、低真空系统
4、高真空系统
5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)

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