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产品名称: DX-7系列晶棒及晶片角度测量仪

上架时间:

产品编号: 11070004

浏览次数: 56

技术参数
设备视频
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DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行测量。设备构造:设备分为落地式一体机。

外型尺寸:1132(长)×642(宽)×1200(高)mm。


样式1

样式2

样式3

功能

可测量晶棒的端面和柱面,也可以测量晶片。

带有六方型刻度贴片板,可测量晶片端面

可测量晶片参考边

被测晶体尺寸

2-6寸晶棒、长度L≤320mm,2-6寸晶片。

2-6寸晶棒、长度L≤100mm,2-6寸晶片。

2-6寸晶片。

工作台图片

配套夹具

①V型夹具(测量晶棒端面时使用)

②底板(测量有参考面的晶棒端面时使用)

无需夹具

无需夹具

工作台:以上是常见工作台,可根据客户需要,任选以上2种样品台进行组合,也可以双侧一样,还可以根据被测的晶体尺寸,及晶体被测方位来特殊设计。


DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表

型 号

DX-7B

DX-7BG

设备精度

设备综合精度为±30″

(以供方提供的标准石英片10ī1面测量)

设备综合精度为±15″

(以供方提供的标准石英片10ī1面测量)

最小读数

10″

仪器配置

DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分;由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。

技术指标

(1)X射线发生器部分:

     X射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。

 最大管电压:30KVP,全压合闸。

 管电流:0—5mA 连续可调,使用2.0mA以上,有可能损坏X光管并加大辐射危害。

(2)输入电源:单相交流220V,50Hz,整机总耗电功率不大于0.3 KW 。

(3)角度测量范围:

     2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。

衍射方式

单衍射

双衍射

放大系统

传统放大器

新型放大器

接收系统

计数管计数率为104/秒

计数管计数率为108/秒

(是普通系列的1万倍)

接收器寿命

1年

3年以上

X光管寿命

按照国家标准400小时

(X光管可以使用3-4个月)

是正常使用状况下的2-3倍

(X光管至少可以使用一年)

X管电流强度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

测量和使用效果

X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰,影响准确度。需要经常更换X光管,影响生产效率。

可以滤掉X光管的杂峰,不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右,不需要频繁调整机器。

精度

精度±30秒(或±0.008度)

精度±15秒(或±0.004度)

辐射

测量时使用 mA量越来越大,射线辐射量较大。

测量时使用 mA量小,射线辐射量较小。

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