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产品名称: GSL-1100X-XX-S大口径管式炉

上架时间: 2021-09-01

产品编号: 01010010

浏览次数: 57

技术参数
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GSL-1100X-XX-S是一款双温区的大口径管式炉,炉管两端安装有铰链式不锈钢密封法兰。此款管式炉可广泛地应用于在真空或气氛保护环境下对材料进行烧结或退火等热处理。温控方面,设备可达到最高温度为1100℃,可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃。

炉体结构

设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)

该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中

密封法兰

采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr(参考值)

可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度

左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,需要一个kf40-kf25转接头)

温控系统

包含一款YD518P型温度控制器

PID自动控温系统

智能化30段可编程控制

控温精度:±1℃

两个温区分别有两个独立的温控系统控制

默认DB9 PC通信连接端口

通过MET认证

质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

质保期

一年保修,终身技术支持。

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

                2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


产品型号

GSL-1100X-6-S2

GSL-1100X-8.5-S2

GSL-1100X-11-S2

技术参数

高纯石英管尺寸

规格1:

152 OD x 143 ID x 1320mm L

规格2:

152 OD x 143 ID x 1020mm L

规格1:

216 OD x 206 ID x 1320mm L

规格2:

216 OD x 206 ID x 1020mm L

规格1:

279 OD x 269 ID x 1320mm L

规格2:

279 OD x 269 ID x 1020mm L

热偶:K型热偶    

建议升温速率:≤10℃/min

温度:1000℃ (1100℃<1h)  

电源:AC220,50Hz   最大8KW

加热区  规格1:加热区长度:600mm    双温区:300mm+300mm;

规格2:加热区长度:900mm    双温区:450mm+450mm

加热元件:掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

产品规格

规格1:1880 L x 700W x 930 H mm;规格2:2180 L x 700W x 930 H mm;约200 kg

可选配件

石英舟

最大可兼容4”直径基片

 

最大可兼容6”直径基片

最大可兼容8”直径基片

温控系统:可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准

定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括

48”L(1/4”OD)K型热电偶校准

一Omega温度校准器

 热电偶补偿线

 您可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr

 

真空系统

多种真空系统可选

可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

使用注意事项

 炉管内气压不可高于0.02MPa

 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 石英管的长时间使用温度<1100℃

 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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