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产品名称: 带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F

上架时间: 2021-09-01

产品编号: 05040001

浏览次数: 68

技术参数
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带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3")的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热,最快升温速度可达 100℃/s,配有RS485 接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。1、双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷。
2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。
3、PID控制器,可以设置30段升降温程序,并设有过热保护和断偶功能。
4、已通过CE认证。

产品型号

带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷。

2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

3、PID控制器,可以设置30段升降温程序,并设有过热保护和断偶功能。

4、已通过CE认证。

技术参数

1、电源:单相208V-240V AC  50Hz/60Hz  9KW

2、石英管:外径?110mm,内径?103mm,长380mm

3、加热元件:红外灯管,直径?10mm,长300mm

4、加热区:300mm

5、工作温度:最高温度1100℃

6、控温精度:±0.5℃

7、最高升温速度:RT-800℃时为50℃/s,800℃-1000℃时为10℃/s

8、温控仪:可控硅(SCR)PID自动控制

9、真空法兰:不锈钢,带有水冷接口和针阀,双层高温O型圈密封,长时间在>900℃条件下运行必须采用水冷,循环水流量为0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量计:3个,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

产品规格

尺寸:炉体760mm×330mm×530mm,真空混气系统600mm×600mm×597mm;重量:45kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计

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